箱式氣氛爐(lú)
在(zài)華芯片半導(dǎo)體出口限 製大背(bèi)景下(xià),welcome加拿大28(洛陽)爐業(yè)有限責(zé)任公司堅(jiān)持(chí)自主(zhǔ)創(chuàng)新,每年(nián)在研發(fā)投入了巨大的資源,攻克(kè)核心技術(shù)(shù),下(xià)麵給大家介紹一臺真空氣氛型箱式爐。
加熱元件(jiàn):矽鉬棒
燒成溫度:空(kōng)氣氣氛使用溫度1650度(dù)
氮?dú)鈿夥帐褂脺囟?550度
參(cān)數(shù)信(xìn)息:
氣路控製:
使用(yòng)真(zhēn)空置換爐內(nèi)氧氣含量不高於50ppm可(kě)通過(guò)曲線設(shè)定真空置換,真空度和進(jìn)氣量單獨(dú)可調(diào),
燒成能力:100KG/爐
有效燒結(jié)(jié)尺寸(cùn):500*500*500mm
外形尺寸(約):1700*1700*2300mm
溫度均勻性:士5度(dù)
冷卻方式:水冷
測溫方(fāng)式:2支B型熱電偶溫度監(jiān)控並(bìng)記錄
進(jìn)氣方式:設(shè)有(yǒu)氮?dú)赓|(zhì)(zhì)子流量計(jì)自動(dòng)控製進(jìn)氣流量(liàng),較大100L/min
壓力控製:爐內(nèi)(nèi)壓力可根據(jù)(jù)設(shè)定自動(dòng)調(diào)節(jié)控製,保證爐壓穩(wěn)定性
控製(zhì)方式:PLC+觸摸屏(píng)控製方(fāng)便操作與觀察(選配)
優(yōu)(yōu)勢:
體積小巧,適用於實(shí)(shí)驗(yàn)室、研究所和大學(xué)(xué)做研究
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